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          3D激光共聚焦显微镜OLS5000

          简要描述:

          • 产品特点
          • 技术规格
          • 应用领域

            LEXT OLS5000 3D测量激光显微镜配备的两套光学系统(彩色成像光学系统和激光共焦光学系统)让其能够获取彩色信息、高度信息和高分辨率图像。

            LEXT OLS5000 3D测量激光显微镜有4大关键价值:

            • 捕捉任意表面形状。

            • 快速获得可靠数据。

            • 使用简单 - 只需放置样品并按一下按钮即可。

            • 测量具有挑战性的样品。

            价值1:捕捉任意表面形状。

             

            OLS5000显微镜的先进技术使其能够进行高分辨率的3D样品测量。

            价值2、快速获得可靠数据

            该显微镜的扫描算法既可提高数据质量又可提高速度,从而缩短您的扫描时间,简化您的工作流程,最终实现生产力的提升。

            价值3、使用简单,只需放置样品并按一下按钮即可

            LEXT? OLS5000显微镜具有自动数据采集功能,因而无需进行复杂的设置调整。 甚至生疏的用户也可以获得准确的检测结果。

            价值4、可测量具有挑战性的样品

            低输出、非接触式无损激光测量意味着不需要样品制备。可以在不损坏易损性材料的情况下对其进行测量。扩展架可容纳高达210毫米的样品,而超长工作距离物镜能够测量深度可达25毫米的凹坑。在测量这两类样品时,您只需将样品放在载物台上即可。

            [获取彩色信息]
            彩色成像光学系统使用利用白光LED光源和CMOS相机获取彩色信息。
            [获取3D 高度信息和高分辨率共焦图像]
            激光共焦光学系统采用405纳米激光二极管光源和高灵敏度光电倍增管获得共焦图像。浅焦深使其能够用于测量样品的表面不规则性。

            [405纳米激光光源]

            光学显微镜的横向分辨率随着波长的减小而获得提升。采用短波长激光的激光显微镜相比采用可见光(峰值550纳米)的传统显微镜具有更优的横向分辨率。 OLS5000显微镜利用405纳米短波长激光二极管获得卓越的横向分辨率。

            [激光共焦光学系统]

            激光共焦光学系统仅接收通过圆形针孔聚焦的光线,并非采集从样品上反射和散射的所有光线。这样有助于消除模糊,让其能够获得比普通显微镜对比度更高的图像

            [X-Y扫描仪]

            OLS5000显微镜配有奥林巴斯光学扫描仪。通过将采用电磁感应MEMS谐振扫描仪的X轴与采用Galvano扫描振镜的Y轴相结合,能够让X-Y扫描仪定位于相对物镜瞳镜共轭的位置,因而能够实现具有较低扫描轨迹失真和较小光学像差的卓越X-Y扫描。

            [高度测量原理]

            在测量高度时,显微镜通过自动移动焦点位置获取多个共焦图像。
            根据非连续的焦点位置(Z)和检测光强度(I)可以估算每个像素的光强变化曲线(I-Z曲线),并获得其峰值位置和峰值强度。由于所有像素的峰值位置与样品表面的不规则性相对应,因此可以获得样品表面的3D形状信息。与此类似,通过峰值强度数据可以获得针对样品表面所有位置焦点的图像(扩展图像)。


            主机规格:

            型号OLS5000-SAFOLS5000-SMFOLS5000-LAFOLS5000-EAFOLS5000-EMF


            总倍率54x - 17,280x


            视场直径16 μm - 5,120 μm


            测量原理光学系统反射式共焦激光扫描激光显微镜
            反射式共焦激光扫描激光-DIC 显微镜
            彩色
            彩色DIC



            光接收元件激光:光电倍增管(2ch)
            色彩:CMOS 彩色相机



            高度测量显示分辨率0.5 纳米


            动态范围16 位


            可重复性 n-1 *1 *2 *620x : 0.03 μm, 50x : 0.012 μm, 100x : 0.012 μm
            精度 *1 *3 *6测量值 +/- 1.5%


            拼接图像精度 *1 *4 *620x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接长度 [μm])


            测量噪声(SQ 噪声)*1 *5 *61 纳米


            宽度测量显示分辨率1 纳米


            可重复性 3 n-1 *1 *620x : 0.05 μm, 50x : 0.04 μm, 100x : 0.02 μm


            精度 *1 *3 *6测量值 +/- 1.5%


            拼接图像精度 *1 *3 *620x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接长度 [μm])


            单次测量时测量点的最大数量4096 x 4096 像素


            测量点的最大数量3600 万像素


            XY 载物台配置长度测量模块??


            工作范围100 x 100 mm 电动

            100 x 100 mm 手动

            300 x 300 mm 电动100 x 100 mm 电动100 x 100 mm 手动


            最大样品高度100 mm30 mm30 mm210 mm140 mm


            激光光源波长405 nm



            最大输出0.95 mW



            激光分类2 类 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)



            彩色光源白光 LED


            电气功率240 W240 W278 W240 W240 W


            质量显微镜主体约 31 公斤约 30 公斤约 50 公斤约 43 公斤约 39 公斤


            控制器约 12 公斤


             


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